发明名称 固态电感器及其制作方法
摘要 一种制作本发明的固态电感器的方法,它包括:形成底部电极;形成覆盖底部电极的超巨磁电阻(CMR)薄膜;形成覆盖所述CMR薄膜的顶部电极;对CMR薄膜加给电场处理,并响应所述电场处理,将CMR薄膜转变成CMR薄膜电感。
申请公布号 CN1453803A 申请公布日期 2003.11.05
申请号 CN03110239.5 申请日期 2003.04.07
申请人 夏普株式会社 发明人 潘威;许胜籘;庄维佛
分类号 H01F41/00;H01F17/04;H01L27/01 主分类号 H01F41/00
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 陈瑞丰
主权项 1.一种用于制作固态电感器的方法,所述方法包括如下步骤:形成底部电极;形成覆盖底部电极的超巨磁电阻(CMR)薄膜;形成覆盖所述CMR薄膜的顶部电极;对CRM薄膜加给电场处理,并响应所述电场处理,将CMR薄膜转变成CMR薄膜电感。
地址 日本大阪府