发光器件制造方法及制造发光器件的设备

摘要

在本实施方案中，淀积源夹具17与其上执行淀积的物体(衬底13)之间的间距被减小到30厘米或以下，最好为20cm或以下，5－15厘米更好，且淀积源夹具17在淀积过程中根据隔离物(也称为堤坝或挡板)而沿X方向或Y方向移动，快门15被打开或关闭，以便成膜。本发明能够应付伴随将来衬底尺寸进一步增大的淀积设备尺寸的增大。

主权项

1.一种制造发光器件的方法，它包含：在形成于衬底上的第一电极上形成包含有机化合物的膜，其方法是借助于从安置成与所述衬底相对的淀积源淀积包含所述有机化合物的材料，以及借助于在由覆盖部分所述第一电极的隔离物分隔的区域内移动所述淀积源；以及在包含所述有机化合物的所述膜上形成第二电极。