测量薄膜折射率的方法及装置

摘要

测量薄膜折射率的方法及其装置，是利用光栅通过透镜产生多个极大点，在频谱面上放置二元滤波器及薄膜样品，在光栅共轭象面上获得干涉条纹，利用输出与测量结构在象面上进行接收和观察，并测量干涉条纹的周期和错位量，从而求得薄膜的折射率。它能够解决折射率不确定性问题，测量过程简单，装置调节方便，测量稳定可靠，且易于实现。本发明测量条纹的精度达λ/10～λ/20，测量折射率精度为0.01～0.005。

主权项

1、一种测量薄膜折射率的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)由光源(1)发射的一束单色光经光束处理机构处理，形成一束高质量的平面平行波或球面波照明光栅(4)；(2)平面平行波或球面波经过光栅(4)衍射，在傅立叶透镜(5)的频谱平面上形成光栅的频谱，在光栅共轭象面上形成一个被放大的光栅象或干涉条纹，由输出与测量结构完成接收和测量；(3)在傅立叶透镜(5)的频谱平面上放置二元滤波器(6)和待测薄膜样品(7)，调整它们的位置，使经过薄膜样品的光束先后产生两套有错位量的干涉条纹，通过条纹测量装置读取它们的周期和错位量；(4)以干涉条纹的周期和错位量为依据，计算得到待测薄膜样品的折射率。