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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erfassung und Verarbeitung elektrischer und optischer Signale, wobei eine Signalquelle modulierte Signalwellen erzeugt, die durch ein Medium übertragen oder durch ein Objekt aufgrund von Reflexion oder Streuung variiert und von einer Empfangseinrichtung mit einer ortsauflösenden und/oder zeitauflösenden Sensorstruktur empfangen werden. Ein Modulationssignal, das in einer wohldefinierten Beziehung zur Modulation der Signalquelle steht, wirkt auf die Sensorstruktur ein, so daß sich am Sensorausgang ein Sensorsignal als Mischung des modulierten Sensoransprechens mit dem modulierten Empfangssignal ergibt. Die Erfindung ist gekennzeichnet durch eine Mehrzahl streifenförmiger Elektroden, die aus mindestens zwei Gruppen von Modulationselektroden und einer als Ausleseelektrode dienenden Gruppe bestehen, wobei die Elektroden ineinander verschränkt und damit Elektroden unterschiedlicher Gruppen benachbart angeordnet sind und zwischen zwei Elektroden der gleichen Gruppe im allgemeinen immer mindestens eine Elektrode einer anderen Gruppe angeordnet ist. Die Elektroden sind als Schottky-Übergänge oder pn-Übergänge in einem strahlungssensitiven Bereich, vorzugsweise auf einem Halbleitersubstrat, gebildet. Die Modulation der Modulationselektroden steuert den über die Ausleseelektroden abfließenden Strom, um unter anderem selektiv nur die modulierte Signalwelle zu erfassen und auszuwerten.
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