发明名称 |
热处理装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种热处理装置,它包括:在上端部形成有开口部的加热炉主体;设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件;收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器;形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部;以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件。所述排气配管连接部呈弯曲形式。 |
申请公布号 |
CN2573509Y |
申请公布日期 |
2003.09.17 |
申请号 |
CN02282982.2 |
申请日期 |
2002.09.27 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社 |
发明人 |
斋藤孝规;牧谷敏幸;长内长荣;泷泽刚;岛津和久;长谷部一秀;山本博之;斋藤幸正;山贺健一 |
分类号 |
C23C16/00 |
主分类号 |
C23C16/00 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
张天安;杨松龄 |
主权项 |
1.一种热处理装置,其特征在于包括:在上端部形成有开口部的加热炉主体;设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件;收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器;形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部;以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件;所述排气配管连接部呈弯曲形式。 |
地址 |
日本东京都 |