发明名称 热处理装置
摘要 本实用新型提供了一种热处理装置,它包括:在上端部形成有开口部的加热炉主体;设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件;收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器;形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部;以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件。所述排气配管连接部呈弯曲形式。
申请公布号 CN2573509Y 申请公布日期 2003.09.17
申请号 CN02282982.2 申请日期 2002.09.27
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 斋藤孝规;牧谷敏幸;长内长荣;泷泽刚;岛津和久;长谷部一秀;山本博之;斋藤幸正;山贺健一
分类号 C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 张天安;杨松龄
主权项 1.一种热处理装置,其特征在于包括:在上端部形成有开口部的加热炉主体;设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件;收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器;形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部;以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件;所述排气配管连接部呈弯曲形式。
地址 日本东京都
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