发明名称 | 用于剥离光刻胶的组合物 | ||
摘要 | 本发明公开的是用于脱除光刻胶的剥离组合物,该组合物包括至少一种由5-50%重量的乙酰乙酸酯或乙酸同脂肪酸胺反应得到的产物和50-95%重量选自水、25%重量四甲基氢氧化铵水溶液、二元醇和有机极性溶剂的溶剂。从剥离性看,这种组合物非常优秀,只需要用超纯水漂洗而不需要通过用空气刀脱除剥离组合物以及用异丙醇漂洗。另外,由于低挥发性和低毒性,该组合物给予环境很低的污染。此外,即使在没有防侵蚀剂的情况下,也不会侵蚀金属底涂层和管材底材,如O-型环。 | ||
申请公布号 | CN1439932A | 申请公布日期 | 2003.09.03 |
申请号 | CN02120076.9 | 申请日期 | 2002.05.22 |
申请人 | 株式会社德成 | 发明人 | 崔浩星;金址洪;金泰根;吕相赫;朴海成 |
分类号 | G03F7/42 | 主分类号 | G03F7/42 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈季壮 |
主权项 | 1.用于脱除光刻胶的组合物,该组合物包括5-50%的重量的至少一种从乙酰乙酸烷基酯或乙酸与脂肪酸胺反应得到的产物和50-95%重量的选自水、25%重量四甲基氢氧化铵水溶液、二元醇以及有机极性溶剂的溶剂。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |