| 发明名称 |
Apparatus for cyclical deposition of thin films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003238853(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.02 |
| 申请号 |
AU20030238853 |
申请日期 |
2003.01.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
AVGERINOS V. GELATOS;AHMAD A. KHAN;RANDHIR P. S. THAKUR;SALVADOR P. UMOTOY;MING XI;WALTER BENJAMIN GLENN;AYAD A. AL-SHAIKH;ALFRED W. MAK |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/455;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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