发明名称 | 荫罩的制造方法以及荫罩制造用耐腐蚀层涂敷装置 | ||
摘要 | 一种荫罩的制造方法,包括:提供带状金属薄板12的工序,该带状金属薄板12包括具有多个凹部的第1主表面,以及与第1主表面相反一侧的、形成了具有多个开口的抗蚀剂层的第2主表面;在照相凹版滚筒的表面上涂敷耐腐蚀层涂敷液22的工序,该照相凹版滚筒22由至少表面具有1000以上的维氏硬度以及5%以下的空孔率的陶瓷材料18形成,该陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蚀层涂敷液22的雕刻部19;以及使所述照相凹版滚筒16与所述带状金属薄板12的第1主表面接触,在所述带状金属薄板12的第1主表面上涂敷耐腐蚀层涂敷液22的工序。 | ||
申请公布号 | CN1437212A | 申请公布日期 | 2003.08.20 |
申请号 | CN03119869.4 | 申请日期 | 2003.01.31 |
申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 二阶堂胜;大川猛;隈本健次 |
分类号 | H01J9/14 | 主分类号 | H01J9/14 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 方晓虹 |
主权项 | 1.一种荫罩的制造方法,包括:提供带状金属薄板的工序,该带状金属薄板包括具有多个凹部的第1主表面,以及与第1主表面相反一侧的、形成了具有多个开口的抗蚀剂层的第2主表面;在照相凹版滚筒的表面上涂敷耐腐蚀层涂敷液的工序,该照相凹版滚筒由至少表面具有1000以上的维氏硬度以及5%以下的空孔率的陶瓷材料形成,该陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蚀层涂敷液的雕刻部;以及使所述照相凹版滚筒与所述带状金属薄板的第1主表面接触,在所述带状金属薄板的第1主表面上涂敷所述耐腐蚀层涂敷液的工序。 | ||
地址 | 日本东京 |