溶氢水制造设备

摘要

本发明提供溶氢水制造设备，在超纯水制造设备(1)的下游依次设有除气设备(10)、溶氢设备(12)、钯催化剂塔(17)，在钯催化剂塔(17)的处理水出口一侧连接着杂质除去设备(19)。杂质除去设备(19)用于除去在用钯催化剂塔(17)处理时向被处理水中析出的杂质离子、混入被处理水的杂质微粒子。该杂质除去设备(19)由离子交换设备(20)和超滤膜设备、反渗透膜设备等膜处理设备(21)构成。这样，通过设置杂质除去设备(19)，能够除去用钯催化剂进行过氧化氢除去处理时产生的杂质，防止溶氢水的水质降低。

主权项

1.一种制造溶解了氢的含氢水的溶氢水制造设备，其特征在于，具有：将氢溶解于经除气处理的超纯水中的溶氢设备；除去超纯水中含有的过氧化氢的钯催化剂设备；以及设在该钯催化剂设备的处理水出口侧的杂质除去设备。