测量物体表面形貌的纹影仪

摘要

本发明属于物体表面形貌测量技术领域，包括光源部件、光学成像部件，光源部件由激光器、小孔滤波器和扩束透镜组成，光学成像部件由分光镜、反射镜、准直透镜，以及空间滤波器和CCD摄像机组成，所说的空间滤波器为一个二维朗奇光栅。本发明可同时获取x、y两方向上的面形变化梯度信息，从而简化了整个装置的结构，不仅能测量物体静态表面的形貌，而且也可测量变化表面的形貌。

主权项

1、一种测量物体表面形貌的纹影仪，包括光源部件、光学成像部件，所说的光源部件由激光器及设置在其输出光束上的小孔滤波器和扩束透镜组成，所说的光学成像部件由将经扩束透镜扩束后的光束进行分束的分光镜、接收该分光镜反射的光束的反射镜、接收该反射镜反射的光束的准直透镜，以及接收该分光镜透射的光束的空间滤波器和CCD摄像机组成，其特征在于，所说的空间滤波器为一个矩形网状、黑白相间的二维朗奇光栅。