| 摘要 |
<p>Um Substratbehandlungseirichtungen kompakter zu gestalten, werden Substrate (3) im wesentlichen senkrecht zur Transportrichtung unter Stapelbildung angeordnet. Die Transporteinrichtung umfasst einen Aufnahme- und einen Abgabeabschnitt, wobei die Orientierung der Substrate in der Transporteinrichtung beibehalten wird.</p> |
