| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur thermischen Behandlung von Substratmaterial |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10035080(C2) |
申请公布日期 |
2003.06.26 |
| 申请号 |
DE20001035080 |
申请日期 |
2000.08.07 |
| 申请人 |
GERSTENDOERFER-HART, BARBARA;ACKERMANN, GUNTHER |
发明人 |
HITSCHFEL, WERNER |
| 分类号 |
B29C35/08;H01L21/00;(IPC1-7):F26B3/36;B05D3/02 |
主分类号 |
B29C35/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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