| 发明名称 |
Impurity doping method for semiconductor as well as system therefor and semiconductor materials prepared thereby |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1184489(A3) |
申请公布日期 |
2003.06.18 |
| 申请号 |
EP20010121026 |
申请日期 |
2001.08.31 |
| 申请人 |
RIKEN |
发明人 |
AOYAGI, YOSHINOBU;IWAI, SOUHACHI;HIRAYAMA, HIDEKI |
| 分类号 |
C23C16/34;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14;C30B29/40 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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