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发明名称 Surface activating process, and device and lamp for performing said process
摘要
申请公布号 EP0754976(B1) 申请公布日期 2003.06.04
申请号 EP19960111119 申请日期 1996.07.10
申请人 USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 SHIMA, TOSHIYUKI;YAMAGUCHI, AKIYASU;SUZUKI, SHINJI
分类号 G02F1/1337;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;G02F1/133;H01J61/86;H01J61/82;H01J65/04 主分类号 G02F1/1337
代理机构 代理人
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