Overlay metrology using scatterometry profilng,申请号GB20030008958-传众专利搜索

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发明名称	Overlay metrology using scatterometry profilng
摘要
申请公布号	GB0308958(D0)	申请公布日期	2003.05.28
申请号	GB20030008958	申请日期	2003.04.17
申请人	OF SINGAPORE;AGERE SYSTEMS INC	发明人
分类号	H01L21/027;G01B11/27;G03F7/20	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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