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发明名称
Operating method for vacuum processing apparatus
摘要
申请公布号
EP0856875(B1)
申请公布日期
2003.05.07
申请号
EP19980106162
申请日期
1991.08.19
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
KATO, SHIGEKAZU;NISHIHATA, KOUJI;TSUBONE, TSUNEHIKO;ITOU, ATSUSHI
分类号
B01J3/00;B41J2/36;B41J2/365;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B01J3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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