发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR20030029119(A) 申请公布日期 2003.04.11
申请号 KR20037001400 申请日期 2003.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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