发明名称 |
PRECISION LIQUID MIXING APPARATUS AND METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
SG94772(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.18 |
申请号 |
SG20010001107 |
申请日期 |
2001.02.26 |
申请人 |
THE BOC GROUP, INC. |
发明人 |
PETER MARTIN POZNIAK;CHARLES ANDRE PREVOST;RAKESH KUMAR SINGH;SAU VAN VO;BENJAMIN RUSH ROBERTS |
分类号 |
B01F3/08;B01F5/00;B01F13/10;B01F15/00;B01F15/04;B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B57/02 |
主分类号 |
B01F3/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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