发明名称 PRECISION LIQUID MIXING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 SG94772(A1) 申请公布日期 2003.03.18
申请号 SG20010001107 申请日期 2001.02.26
申请人 THE BOC GROUP, INC. 发明人 PETER MARTIN POZNIAK;CHARLES ANDRE PREVOST;RAKESH KUMAR SINGH;SAU VAN VO;BENJAMIN RUSH ROBERTS
分类号 B01F3/08;B01F5/00;B01F13/10;B01F15/00;B01F15/04;B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B57/02 主分类号 B01F3/08
代理机构 代理人
主权项
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