发明名称 光阻材料之管路气泡侦测装置
摘要 一种管路气泡侦测装置,适用于侦测一光阻内部之气泡,包括至少一光阻槽、缓冲槽、帮浦、以及气泡侦测器。光阻槽系用以提供光阻材料。缓冲槽系用以储存光阻材料。帮浦用以推动缓冲槽所储存之光阻材料至一管路末端。气泡侦测器系设置于缓冲槽以及帮浦之间,用以侦测光阻材料中之气泡,并于侦测到气泡时,输出警示信号。
申请公布号 TW522223 申请公布日期 2003.03.01
申请号 TW091120259 申请日期 2002.09.05
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 曾嘉豪;蔡毓通;蔡重德;林政毅;丁茂益
分类号 G01L1/00 主分类号 G01L1/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路四段二七九号三楼;颜锦顺 台北市大安区信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种管路气泡侦测装置,适用于侦测一光阻内部之气泡,包括:至少一光阻槽,用以提供上述光阻材料;一缓冲槽,用以储存上述光阻材料;一帮浦,用以推动上述缓冲槽所储存之光阻材料至一管路末端;以及一气泡侦测器,设置于上述缓冲槽以及上述帮浦之间,用以侦测上述光阻材料中之气泡,并于侦测到上述气泡时,输出一警示信号。2.如申请专利范围第1项所述之管路气泡侦测装置,更包括一储存槽,设置于上述光阻槽与缓冲槽之间,用以累积上述光阻材料。3.一种管路气泡侦测装置,适用于侦测一光阻输送管路内部之气泡,包括:一继电器,具有一吸持开关以及一吸持线圈,上述吸持开关具有耦接于第一电源之第一端子以及第二端子,而上述吸持线圈系耦接于上述第二端子与接地点之间;一第一指示装置,耦接于上述第二端子,用以根据一侦测信号而输出一第一警示信号;一侦测器,耦接于上述第一端子以及第二端子之间,用以侦测上述光阻输送管路,当侦测到上述气泡时,则输出上述侦测信号至上述第一指示装置以及上述吸持线圈以导通上述吸持开关;一第二指示装置,当上述吸持开关导通时,则输出一第二警示信号;以及一第三指示装置,耦接于一第二电源,当上述吸持开关导通时,则输出一第三警示信号。4.如申请专利范围第3项所述之管路气泡侦测装置,更包括一重置开关,设置于上述第一电源以及继电器之间,用以关闭上述第一电源。5.如申请专利范围第3项所述之管路气泡侦测装置,其中上述第一指示装置与第三指示装置为发光警示器。6.如申请专利范围第3项所述之管路气泡侦测装置,其中上述第一电源为12V直流电源,而上述第二电源为110V交流电源。7.一种管路气泡侦测装置,适用于侦测一光阻输送管路内部之气泡,包括:一继电器,具有一吸持开关以及一吸持线圈,上述吸持开关具有耦接于第一电源之第一端子以及第二端子,而上述吸持线圈系耦接于上述第二端子与接地点之间;一第一发光警示器,耦接于上述第二端子,用以根据一侦测信号而输出一第一警示信号;一侦测器,耦接于上述第一端子以及第二端子之间,用以侦测上述光阻输送管路,当侦测到上述气泡时,则输出上述侦测信号至上述第一发光警示器以及上述吸持线圈以导通上述吸持开关;一蜂鸣器,当上述吸持开关导通时,则输出一第二警示信号;以及一第二发光警示器,耦接于一第二电源,当上述吸持开关导通时,则输出一第三警示信号。8.如申请专利范围第7项所述之管路气泡侦测装置,更包括一重置开关,设置于上述第一电源以及继电器之间,用以关闭上述第一电源。9.如申请专利范围第7项所述之管路气泡侦测装置,其中上述第一电源为12V直流电源,而上述第二电源为110V交流电源。10.如申请专利范围第7项所述之管路气泡侦测装置,其中上述第二发光警示器之输出功率系高于上述第一发光警示器。图式简单说明:第1图系显示传统管路气泡侦测装置之结构。第2图系显示根据本发明实施例所述之管路气泡侦测装置。第3图系显示根据本发明实施例所述之管路气泡侦测装置之电路结构。
地址 新竹科学工业园区新竹市力行路十六号