发明名称 |
Method and machine for replicating holographic gratings on a substrate |
摘要 |
A machine and process for a pattern, such as a submicron grating pattern onto a substrate
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申请公布号 |
US2003017581(A1) |
申请公布日期 |
2003.01.23 |
申请号 |
US20020201818 |
申请日期 |
2002.07.23 |
申请人 |
SRU BIOSYSTEMS, LLC |
发明人 |
LI PETER;QIU JEAN;BORSODY ALEX |
分类号 |
B01L3/00;G01N21/25;G01N21/47;G01N33/543;G02B5/18;(IPC1-7):C12Q1/68;G01N33/53;G01N33/542;B32B31/00;C12M1/34 |
主分类号 |
B01L3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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