| 发明名称 |
Method for isolating semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002320060(A1) |
申请公布日期 |
2002.12.23 |
| 申请号 |
AU20020320060 |
申请日期 |
2002.06.07 |
| 申请人 |
AMBERWAVE SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
MATTHEW CURRIE;RICHARD HAMMOND |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L29/165;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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