摘要 |
<p>La présente invention concerne un dispositif d'étalonnage de tranche qui peut protéger une couche conductrice supérieure de support contre les bruits et éviter une erreur telle qu'une erreur due aux bruits, d'un circuit semiconducteur ou d'un élément similaire et qui peut ainsi précisément déterminer si ce circuit intégré fonctionne normalement. Dans ce dispositif d'étalonnage de tranche, une couche conductrice supérieure de support est formée sur la face principale d'un substrat de céramique et une électrode de garde est formée dans cette couche. Ce dispositif d'étalonnage de tranche est caractérisé par le fait qu'on forme une couche métallique sur la face latérale du substrat de céramique.</p> |