| 发明名称 |
Method and apparatus for determining process layer conformality |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002307499(A1) |
申请公布日期 |
2002.12.09 |
| 申请号 |
AU20020307499 |
申请日期 |
2002.04.02 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
MARILYN I. WRIGHT |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/956;(IPC1-7):H01L21/66;G01B11/06 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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