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<p>Eine über einem Substrat angeordnete Struktur einer integrierten Schaltungsanordnung enthält eine periodische Anordnung von gleichen, dreidimensionalen Elementen. Zueinander benachbarte Element weisen einen Abstand voneinander auf, der größer oder gleich der Auflösung eines zur Strukturierung zumindest von Teilen der Struktur verwendeten lithographischen Verfahrens ist, wobei die Elemente als Stege ausgestaltet sind.</p> |
