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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines BICMOS-Bauteils
摘要
申请公布号 DE69430229(T2) 申请公布日期 2002.10.02
申请号 DE1994630229T 申请日期 1994.08.12
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS 发明人 EKLUND ROBERT H., PLANO TX
分类号 H01L21/336;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/07;H01L21/82 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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