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发明名称 Negativ arbeitende chemisch vertärkte Photoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69710692(T2) 申请公布日期 2002.08.29
申请号 DE1997610692T 申请日期 1997.12.10
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 SATO, MITSURU;ISHIKAWA, KIYOSHI;SUGETA, YOSHIKI;YAMAZAKI, HIROYUKI;TACHIKAWA, TOSHIKAZU;KOMANO, HIROSHI
分类号 G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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