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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Produktionsbeschleunigungssensors
摘要
申请公布号 DE19712789(C2) 申请公布日期 2002.08.29
申请号 DE19971012789 申请日期 1997.03.26
申请人 MURATA MFG. CO., LTD. 发明人 TABOTA, JUN
分类号 G01P15/09;H01L29/84;H01L41/08;(IPC1-7):G01P15/09 主分类号 G01P15/09
代理机构 代理人
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