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发明名称 Radiation-sensitive resin composition
摘要
申请公布号 EP1193558(A3) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 EP20010122213 申请日期 2001.09.17
申请人 JSR CORPORATION 发明人 MIYAJI, MASAAKI;NAGAI, TOMOKI;YADA, YUJI;NUMATA, JUN;NISHIMURA, YUKIO;YAMAMOTO, MASAFUMI;ISHII, HIROYUKI;KAJITA, TORU;SHIMOKAWA, TSUTOMU
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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