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发明名称 Deposition methods and apparatus
摘要
申请公布号 GB0215699(D0) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 GB20020015699 申请日期 2002.07.06
申请人 TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人
分类号 C23C14/50;H01J37/34 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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