发明名称 Nassätzverfahren mit hoher Selektivität zwischen Cu und Cu3Ge
摘要
申请公布号 DE69132842(T2) 申请公布日期 2002.08.01
申请号 DE1991632842T 申请日期 1991.03.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 ABOELFOTOH, MOHAMED OSAMA;KRUSIN-ELBAUM, LIA;SUN, YUAN-CHEN
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/485;H01L23/532;H01L29/43;H01L29/45;H01L29/47;H01L29/49;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/321;C23F1/44;C23F1/18;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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