使用等离子体诱导微波振荡器频率变化的电子密度测量和控制系统

摘要

一种用于测量等离子体密度和电子密度中的至少一种(例如在10¹⁰至10¹²cm^－3的范围内)的方法和系统。使用反馈控制来测量至少一种等离子体密度和电子密度能够控制等离子体辅助过程,诸如沉积和刻蚀。测量方法和系统产生控制电压,它进而控制等离子体发生器(205)以将至少一种等离子体密度和电子密度维持在预定的值上。

主权项

1.一种系统，用于在等离子体源，等离子体室和电子源中的至少一个中测量等离子体密度和电子密度中的至少一种，该系统包括：第一传感器，用于测量穿过等离子体源，等离子体室和电子源中的至少一个的第一信号；第二传感器，用于测量来自参考源的第二信号；以及比较器，用于比较第一和第二信号之间的差别以确定等离子体源，等离子体室和电子源中至少一个的等离子体密度和电子密度中的至少一种。