| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM BEWEGEN VON SUBSTRATEN DURCH EINE SUBSTRAT-BEHANDLUNGSEINRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT220476(T) |
申请公布日期 |
2002.07.15 |
| 申请号 |
AT19980921450T |
申请日期 |
1998.04.09 |
| 申请人 |
STEAG HAMATECH AG |
发明人 |
WEBER, KLAUS;MAHNER, BERND |
| 分类号 |
B65G15/42;B65G49/00;B65G49/07;G11B7/26;G11B9/00;G11B23/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G15/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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