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发明名称 Verfahren zum Naßätzen von Halbleiterscheiben zum Erzeugen eines definierten Randbereichs durch Unterätzen
摘要
申请公布号 DE19805525(C2) 申请公布日期 2002.06.13
申请号 DE19981005525 申请日期 1998.02.11
申请人 SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG, VILLACH 发明人 SUMNITSCH, FRANZ;WAGNER, GERALD
分类号 H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306;C23F1/16 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
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