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发明名称
HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20020038688(A)
申请公布日期
2002.05.23
申请号
KR1020027000507
申请日期
2002.01.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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