| 发明名称 |
POLISHING COMPOSITION AND POLISHING METHOD EMPLOYING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG88775(A1) |
申请公布日期 |
2002.05.21 |
| 申请号 |
SG20000002445 |
申请日期 |
2000.05.04 |
| 申请人 |
FUJIMI INCORPORATED |
发明人 |
KATSUYOSHI INA;TADAHIRO KITAMURA;SATOSHI SUZUMURA |
| 分类号 |
H01L21/304;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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