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发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE19542240(C2) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 DE1995142240 申请日期 1995.11.13
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 YAMAZAKI, TORU
分类号 H01L21/8244;H01L27/11;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/11;H01L21/824 主分类号 H01L21/8244
代理机构 代理人
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