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发明名称 METHOD OF DETERMINING ETCH ENDPOINT USING PRINCIPAL COMPONENTS ANALYSIS OF OPTICAL EMISSION SPECTRA
摘要
申请公布号 KR20020027634(A) 申请公布日期 2002.04.13
申请号 KR1020027003133 申请日期 2002.03.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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