| 摘要 |
<p>Durch Dünnschleifen verlieren Wafer ihre mechanische Stabilität und sind auf undefinierte Weise gebogen. Die Handhabung solcher Scheiben ist mit erhöhter Bruchgefahr verbunden. Bisher verwendete Markierungstechniken zur Anbringung von Kennzeichnungen auf integrierten Schaltkreisen sind so dick, daß auf Grund auftretender Hebelkräfte an den Kennzeichnungen ein mit der markierten Seite auf einem Chuck aufliegender Wafer beim Dünnschleifen brechen kann. Es ist daher nicht möglich gewesen, heutige dünne Wafer erst nach Anbringen der Kennzeichnung dünn zu schleifen. Um dieses Problem zu lösen, ist die Erfindung gerichtet auf ein Verfahren zum Kennzeichnen von integrierten Schaltkreisen auf Wafern mit einer Markierung; mit folgenden Schritten: -Korrelieren zumindest eines integrierten Schaltkreises mit einer an ihm anzubringenden Markierung; und -Anbringen der Markierung; welches dadurch gekennzeichnet ist, daß die Markierung aus Tinte besteht.</p> |
