发明名称 ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURE
摘要 <p>Disclosed are methods of manufacturing electronic devices, particularly integrated circuits. Such methods include the use of low dielectric constant material prepared by using a removable porogen material.</p>
申请公布号 WO2002023629(A2) 申请公布日期 2002.03.21
申请号 US2001028208 申请日期 2001.09.08
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利