| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 제조용 가스공급 에셈블리에 관한 것으로써, 종래에는 가스 누출 검출을 위한 가스분사 어셈블리와 가스 충전을 위한 가스충전 어셈블리가 개별적으로 사용되어야 하므로 사용상의 불편함이 많은 문제점이 있었던 바, 본 발명에서는 가스분사 어셈블리와 가스 충전 어셈블리가 운반카트에 장착되어 가스 분사 및 가스 충전이 개별적 또는 동시에 이루어질 수 있도록 한 것이다. 이를 위해 본 발명에서는 가스 봄베와, 개폐도어가 형성되어 내부의 수납공간으로 물품을 넣을 수 있는 보관함 및 보관함의 외부 일측면에 가스 봄베를 장착하는 지지대가 형성된 운반 카트와, 보관함의 일측면에 부착되어 가스 봄베의 가스가 공급되고, 반도체 장치의 배관 체결부에 리크 발생여부를 감지하기 위해 가스를 분사시키는 가스 분사부와, 보관함의 일측면에 부착되어 가스 봄베의 가스가 가스 분사부와 동시에 공급되고, 반도체 장치 내부에 가스를 충전하는 가스 충전부를 포함하여 반도체 제조용 가스공급 어셈블리를 구성한다.</p> |
