发明名称 METHOD FOR PRODUCING CERAMIC AND APPARATUS FOR PRODUCING THE SAME, SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PIEZOELECTRIC DEVICE
摘要
申请公布号 KR20020020897(A) 申请公布日期 2002.03.16
申请号 KR1020017015256 申请日期 2001.11.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
地址