METHOD FOR CORRECTING PHYSICAL ERRORS IN MEASURING MICROSCOPIC OBJECTS
摘要
Ein Verfahren zur Korrektur physikalisch bedingter Fehler bei der Messung eines Objekts umfasst das Erfassen (102) eines Bildes des zu messenden Objekts, das Vermessen (106) des abgebildeten Objekts, das Bestimmen (112) eines Messfehlers aufgrund von Strukturumgebungen des Objekts und die Korrektur (108) des Messergebnisses abhängig von dem Messfehler.
申请公布号
WO0192818(A1)
申请公布日期
2001.12.06
申请号
WO2001EP06200
申请日期
2001.05.31
申请人
PDF SOLUTIONS GMBH;MUETEC AUTOMATISIERTE MIKROSKOPIE UND MESSTECHNIK;HARTMANN, HANS;WAAS, THOMAS;EISENMANN, HANS;BRUECK, HANS-JUERGEN
