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发明名称
METHOD FOR PRODUCING THREE-DIMENSIONAL CIRCUITS
摘要
申请公布号
EP1149417(A1)
申请公布日期
2001.10.31
申请号
EP20000926851
申请日期
2000.04.10
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER<BR>ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
BUCHNER, REINHOLD;RAMM, PETER
分类号
H01L25/18;H01L21/301;H01L21/98;H01L25/065;H01L25/07;(IPC1-7):H01L21/98
主分类号
H01L25/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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