| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Biegewandler (1) mit einem Tragkörper (3) und mit einem darauf aufgebrach-ten Stapel (4) aus Schichten (6) aus Piezokeramik und aus zwischen den Schichten (6) angeordneten flächigen Elektroden (7, 8). Auf der dem Stapel (4) abgewandten Seite des Tragkör-pers (3) ist eine Anpassschicht (10) aus einem Material mit im wesentlichen gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie die Piezokeramik aufgebracht. Der Biegewandler (1) zeigt eine gute Stellkraft und eine geringe thermische Eigenverbie-gung bei günstigen Herstellungskosten. Er eignet sich insbe-sondere für den Einsatz in einem Ventil.</p> |
