发明名称 Optisches Bauelement mit kristallisierter keramischer Dünnschicht
摘要
申请公布号 DE29815601(U1) 申请公布日期 2001.09.20
申请号 DE19982015601U 申请日期 1998.09.01
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人
分类号 C04B35/622;C04B35/64;(IPC1-7):C04B35/00;C04B35/462;C04B35/48;C04B35/495;H01L21/823 主分类号 C04B35/622
代理机构 代理人
主权项
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