发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Kristalls und Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69330583(D1) 申请公布日期 2001.09.20
申请号 DE19936030583 申请日期 1993.06.22
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 SAMESHIMA, TOSHIYUKI;HARA, MASAKI;SANO, NAOKI;PAL, GOSAIN DHARAM;KONO, ATSUSHI;WESTWATER, JONATHAN;USUI, SETSUO
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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