发明名称 EXHAUST GAS TREATMENT INSTALLATION
摘要
申请公布号 IL128313(A) 申请公布日期 2001.09.13
申请号 IL19990128313 申请日期 1999.02.01
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人
分类号 F23G7/06;B01D53/22;B01D53/34;B01D53/68;B01D53/70;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B01D53/14 主分类号 F23G7/06
代理机构 代理人
主权项
地址