Process for manufacturing large single crystals of calcium fluoride and the use of the crystals in Photolithography

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung von hochhomogenen, großformatigen, insbesondere bearbeiteten Einkristallen aus Calciumfluorid durch Tempern bei erhöhter Temperatur beschrieben, wobei der Kristall während des Temperns in einem mit einer Abdeckung versehenen Tempergefäß gelagert wird. Dabei wird in das Tempergefäß ein Calciumfluoridpulver eingebracht und zusammen mit dem Kristall mindestens zwei Stunden lang oberhalb 1150°C erwärmt.