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发明名称 Strukturierungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19733391(C2) 申请公布日期 2001.08.16
申请号 DE1997133391 申请日期 1997.08.01
申请人 SIEMENS AG 发明人 ENGELHARDT, MANFRED;WEINRICH, VOLKER
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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