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发明名称 USE OF CsOH IN A DIELECTRIC CMP SLURRY
摘要
申请公布号 WO0132793(A3) 申请公布日期 2001.08.02
申请号 WO2000US41707 申请日期 2000.10.31
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 FRANCIS, ALICIA, F.;MUELLER, BRIAN, L.;DIRKSEN, JAMES, A.;FEENEY, PAUL, M.;FEENEY, PAUL, M.
分类号 B24B57/02;B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):C09G/ 主分类号 B24B57/02
代理机构 代理人
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